Delovni tok optičnega nanosa običajno vključuje naslednje glavne korake: predhodno obdelavo, prevleko, spremljanje filmov in nastavitev, hlajenje in odstranjevanje. Specifični postopek se lahko razlikuje glede na vrsto opreme (na primer stroj za izhlapevanje, stroj za brizganje itd.) In postopek prevleke (na primer enoslojni film, večplastni film itd.), Vendar je na splošno postopek optičnega premaza naslednji:
1. faza priprave
Čiščenje in priprava optičnih komponent:
Pred premazom je treba optične komponente (kot so leče, filtre, optično steklo itd.) Temeljito očistiti. Ta korak je osnova za zagotavljanje kakovosti prevleke. Pogoste metode čiščenja vključujejo ultrazvočno čiščenje, čiščenje kisline, čiščenje pare itd.
Očiščene optične komponente so običajno nameščene na vrtljivi napravi ali sistemu vpenjanja stroja za prevleko, da se zagotovi, da lahko ostanejo stabilni med postopkom prevleke.
Predobdelava vakuumske komore:
Preden postavite optične komponente v stroj za prevleko, je treba komoro za prevleko evakuirati do določene stopnje vakuuma. Vakuumsko okolje lahko učinkovito odstrani nečistoče, kisik in vodno paro v zraku, prepreči, da bi reagirali s materialom za prevleko in zagotovili čistost in kakovost filma.
Običajno mora komora za prevleko doseči visok vakuum (10⁻⁵ do 10⁻⁶ PA) ali srednji vakuum (10⁻³ do 10⁻⁴ Pa).
2. Postopek prevleke
Začni vir prevleke:
Vir prevleke običajno sprejme vir izhlapevanja ali vir brizganja. Različni viri premaza bodo izbrani v skladu z različnimi postopki in materiali prevleke.
Vir izhlapevanja: Uporabite ogrevalno opremo (na primer uparjalnik elektronskega žarka ali upornost ogrevalnega uparjalnika), da segrejte material za prevleko do stanja izhlapevanja, tako da njegove molekule ali atomi izhlapijo in nanesejo na površini optičnega elementa v vakuumu.
Vir za brizganje: Z uporabo visoke napetosti, da se ciljni material trči z ioni, atomi ali molekulami ciljnega materiala, se razpršijo, ti atomi ali molekule pa se odlagajo na površini optičnega elementa, da tvorijo tanek film.
Tanka filmska materiala Depozicija:
V vakuumskem okolju material za prevleko izhlapi ali razbije iz vira (na primer vir izhlapevanja ali ciljni material) in postopoma nalaga na površini optičnega elementa.
Hitrost nalaganja in debelina filma je treba natančno nadzorovati, da se zagotovi, da je filmska plast enakomerna, neprekinjena in izpolnjuje zahteve za oblikovanje. Parametri med postopkom odlaganja (kot so tok, pretok plina, temperatura itd.) Bo neposredno vplivali na kakovost filma.
Spremljanje tankih filmov in nadzor debeline:
Med postopkom prevleke se debelina in kakovost filma običajno spremlja v realnem času. Pogosto uporabljena orodja za spremljanje vključujejo senzorje, kot je ** kremenčeva kristalna mikrobalanca (QCM) **, ki lahko natančno zazna hitrost nanašanja in debelino filma.
Na podlagi teh podatkov spremljanja lahko sistem samodejno prilagodi parametre, kot so moč vira prevleke, pretok plina ali hitrost vrtenja komponente, da ohrani konsistenco in enakomernost filma.
Večplastni film (če je potrebno):
Za optične komponente, ki zahtevajo večplastno filmsko strukturo, se postopek prevleke običajno izvaja plast po plasti. Po odložitvi vsake plasti filma bo sistem izvedel večkratno zaznavanje in prilagoditev debeline filma, da se zagotovi, da kakovost vsake plasti ustreza oblikovalskim zahtevam.
Ta postopek zahteva natančen nadzor nad debelino in vrsto materiala vsake plasti, da se zagotovi, da lahko vsaka plast deluje v določenem območju valovne dolžine, kot so odsev, prenos ali motnje.
3. Hlajenje in odstranjevanje
Hlajenje:
Po prevleki je treba optične komponente in napravo za prevleke ohladiti. Ker lahko oprema in komponente med postopkom prevleke postanejo vroči, jih je treba skozi hladilni sistem ohladiti do sobne temperature (na primer hladilna voda ali pretok zraka), da se prepreči toplotne poškodbe.
V nekaterih visokotemperaturnih procesih prevleke hlajenje ne samo ščiti optičnih komponent, ampak tudi film omogoča, da doseže optimalno oprijem in stabilnost.
Odstranjevanje optičnih komponent:
Po hlajenju lahko optične komponente odstranimo iz stroja za prevleko.
Pred odstranitvijo je treba preveriti učinek prevleke, vključno z enakomernostjo, debelino, adhezijo itd. Filmske plasti, da se zagotovi, da kakovost premaza ustreza zahtevam.
4. po zdravljenju (neobvezno)
Utrjevanje filma:
Včasih je treba film po prevleki utrjevati, da se izboljša odpornost na praske in trajnost filma. Običajno to storimo s toplotno obdelavo ali ultravijoličnim obsevanjem.
Čiščenje filma:
Da bi odstranili onesnaževala, maščobo ali druge nečistoče na površini filma, je morda potrebno rahlo čiščenje, kot so pranje, ultrazvočno zdravljenje itd.
5. Pregled kakovosti in testiranje
Optični test uspešnosti: Po nanosu se na optičnih komponentah izvaja niz preizkusov zmogljivosti, vključno z prepustnostjo, odbojnostjo, enotnostjo filma itd., Da se zagotovi, da izpolnjujejo tehnične zahteve.
Adhesion Test: Preverite, ali je oprijem med filmom in substratom trden s testom traku ali praskam.
Okoljski test stabilnosti: Včasih so potrebni testi stabilnosti v okoljskih pogojih, kot so temperatura, vlaga in ultravijolični žarki, da se zagotovi zanesljivost plasti prevleke v dejanskih aplikacijah.
