Glavna klasifikacija vakuumskih strojev

Obstajata dve glavni kategoriji: prevleka za odlaganje in prevleko za odlaganje izhlapevanja, ki vključujejo veliko vrst, vključno z vakuumskim ionskim izhlapevanjem, magnetronskim brizganjem, MBE molekularnim žarkom epitaksija, metoda sol-gela, ETC.
1. za izhlapevanje prevleke:
Na splošno se ciljni material segreje, da izhlapi površinske komponente v obliki atomskih skupin ali ionov.
Enotnost debeline je predvsem odvisna od:
1. stopnja ujemanja rešetke med substratnim materialom in ciljnim materialom
2. Temperatura površine substrata
3. Moč izhlapevanja, hitrost
4. stopnja vakuuma
5. Čas prevleke, velikost debeline.
Komponentna enotnost:
Komponentne enakomernosti izhlapevanja ni enostavno jamčiti. Specifični dejavniki, ki jih je mogoče prilagoditi, so enaki kot zgoraj. Vendar zaradi omejitve načela za komponentno prevleko, ki ni singla, enotnost komponente izhlapevanja ni dobra.
Enotnost kristalne orientacije:
1. stopnja ujemanja rešetk
2. temperatura substrata
3. Hitrost izhlapevanja
Premaz za brizganje lahko razdelimo na številne vrste. Na splošno je razlika od izhlapevanja v tem, da bo hitrost brizganja postala eden glavnih parametrov.
Pri brizgalnem premazu je lasersko brizgalno prevleko PLD enostavno vzdrževati enotnost komponent, vendar je debelina enakomernost atomske lestvice razmeroma slaba (ker je pulzno škropljenje), nadzor nad kristalnim smeri (zunanji rob) pa je tudi relativno splošna.