Oprema za brizganje Magnetron igra ključno vlogo na številnih področjih, kot sta obdelava površine materiala in priprava filma. Dnevno vzdrževanje je bistvenega pomena za zagotovitev stabilnega delovanja opreme, podaljšanje življenjske dobe in zagotavljanje kakovosti razpršenega filma. Naslednje bo podrobneje opisane ključne točke vsakodnevnega vzdrževanja opreme za brizganje Magnetron.
Vzdrževanje vakuumskega sistema
1. Vzdrževanje vakuumske črpalke: Vakuumska črpalka je temeljna komponenta vakuumskega sistema opreme za brizganje magnetrona. Redno preverjajte raven olja vakuumske črpalke, da zagotovite, da je raven olja znotraj običajnega območja. Po dolgotrajni uporabi se bo zmogljivost olja vakuumske črpalke poslabšala zaradi adsorpcije nečistoč in vlage. Na splošno je treba olje vakuumske črpalke zamenjati vsako določeno obdobje delovanja (na primer 2000 ur). Hkrati bodite pozorni, da preverite tesnost pasu vakuumske črpalke. Preveč ohlapni pas bo povzročil, da je hitrost vakuumske črpalke nestabilna in vpliva na učinkovitost izpušnih plinov; Pretesno lahko pospeši obrabo pasu. Če pas kaže znake obrabe ali staranja, ga je treba pravočasno zamenjati.
2. Čiščenje vakuumskih cevi: Vakuumska cev je kanal, ki povezuje vakuumsko črpalko in komoro za brizganje, ki je enostavno absorbirati prah, nečistoče in delce, ustvarjene med postopkom brizganja. Za čiščenje notranjosti cevi redno uporabljate namensko orodje za čiščenje vakuumskih cevi, da odstranite pritrjene nečistoče. Za dele, ki jih je težko očistiti, je mogoče uporabiti čiščenje plina, vendar je treba zagotoviti čistočo čiščenja plina. Poleg tega preverite tesnost cevi in preverite, ali pride do puščanja. Majhno puščanje lahko povzroči, da stopnja vakuuma ne doseže idealnega stanja, kar vpliva na učinek brizganja. Za odkrivanje puščanja v cevi se lahko uporabi detektor puščanja helija masnega spektrometra, puščanje pa je mogoče pravočasno popraviti.
3. Kalibracija vakuumskega merilnika: Vakuumski merilnik se uporablja za merjenje vakuumske stopnje vakuumskega sistema, njegova natančnost merjenja pa je neposredno povezana z presojo operaterja o obratovalnem statusu opreme. Redno kalibrirajte merilnik vakuuma in na splošno priporočamo, da ga umerite enkrat na šest mesecev ali eno leto. Postopek umerjanja je treba izvesti v skladu z priročnikom za operacijo, ki ga ponuja proizvajalec opreme, za zagotovitev, da so podatki o stopnji vakuuma, merjeni z vakuumskim merilnikom, in zanesljivi.
Vzdrževanje ciljev za brizganje
1. Čiščenje ciljne površine: Med postopkom brizganja bodo izdelki za brizganje in nečistoče postopoma odlagali na ciljno površino, kar bo vplivalo na hitrost brizganja in kakovost filma. Po vsaki uporabi opreme je treba ciljno površino pravočasno očistiti. Za kovinske tarče lahko uporabite posebno čistilno krtačo za nežno odstranjevanje površinskih nahajališč; Za nekatere bolj občutljive cilje, kot so keramične tarče, je potreben bolj nežen način čiščenja, na primer nežno obrise s čisto mehko krpo, namočeno v ustrezno količino posebnega čistilnega sredstva. Izogibajte se uporabi ostrih orodij, da opraskate površino cilja, da ne bi poškodovali cilja.
2. Pregled namestitve ciljne namestitve: Redno preverjajte namestitev cilja, da zagotovite, da je cilj trdno nameščen. Cilj bodo med postopkom brizganja bombardirali s hitrimi ioni. Če ni trdno nameščen, lahko povzroči, da se cilj trese ali celo odpade, kar ne bo vplivalo samo na učinek brizganja, ampak tudi poškodovanje opreme. Preverite, ali je povezava med ciljno in napajanjem z razprševanjem dobra. Ohlapnost povezave lahko povzroči, da je postopek brizganja nestabilen in povzroči nenormalne pojave, kot je iskrenje. Če je ugotovljeno, da je povezava ohlapna, je treba povezovalne vijake pravočasno zategovati.
3. Nadzor nad ciljno življenjsko dobo: različne vrste ciljnih materialov imajo svojo posebno življenjsko dobo. Bodite pozorni na čas brizganja in učinek razprševanja cilja. Ko hitrost škropljenja cilja znatno pade in kakovost filma niha, lahko to pomeni, da je cilj blizu njene življenjske dobe. Pravočasno zamenjajte ciljni material, da zagotovite stabilnost postopka brizganja in doslednost kakovosti filma. Hkrati zabeležite čas uporabe in z njimi povezane parametre ciljnega gradiva, da zagotovite osnovo za nadaljnjo nadomestitev ciljnega gradiva in oceno uspešnosti.
Vzdrževanje električnega sistema
1. Pregled napajanja: Napajanje opreme za brizganje magnetrona zagotavlja energijo za postopek brizganja, njegova stabilnost pa je ključnega pomena. Redno preverjajte, ali sta izhodna napetost in tok napajanja v običajnem območju. Za zaznavanje napajanja lahko uporabite profesionalne električne merilne instrumente, da preverite, ali so izhodni parametri skladni z vrednostmi nastavitve opreme. Če ugotovimo, da izhodna napetost ali tok niha nenormalno, je treba vzrok takoj raziskati. Lahko je napaka v notranjih komponentah napajanja ali težava s povezavo z linijo. Poleg tega preverite odvajanje toplote napajanja, da zagotovite, da lahko napajanje med delovanjem normalno razprši toploto. Napajanje bo ustvarilo veliko toplote, ko dlje časa dela. Če je odvajanje toplote slabo, lahko povzroči poškodbe komponent. Očistite prah na radiatorju napajanja, da zagotovite, da hladilni ventilator deluje normalno.
2. Vzdrževanje električnega tokokroga: preverite, ali se električni vezje znotraj opreme stara ali poškoduje. Po dolgotrajni uporabi ima lahko električni vezje težave, kot sta staranje izolacijske plasti in poškodba žice, ki bo prinesla varnosti in vplivala na normalno delovanje opreme. Za staranje ali poškodovana vezja jih je treba pravočasno zamenjati. Hkrati se prepričajte, da je povezava linija trdna, da se izognete ohlapnosti, ki povzroča slab stik. Ohlapne priključne točke lahko ustvarijo iskre med delovanjem opreme, škodo komponent opreme ali celo povzročijo požar. Redno privijte vijake linijskih priključnih točk in preverite stik med vtičem in vtičnico.
3. Vzdrževanje nadzornega sistema: Krmilni sistem opreme je odgovoren za spremljanje in prilagajanje različnih parametrov postopka brizganja. Redno varnostno kopirajte podatke v nadzornem sistemu, da preprečite izgubo podatkov. Hkrati preverite, ali obstajajo pozivi za posodobitev programske opreme za nadzor sistema. Pravočasno posodobitve programske opreme lahko odpravijo znane ranljivosti in izboljšajo stabilnost in funkcijo sistema. Poleg tega očistite operacijski vmesnik nadzornega sistema, da zagotovite, da gumbi in zaslon pravilno delujejo, operater pa lahko natančno vnese parametre in pridobi informacije o delovanju opreme.
Vzdrževanje hladilnega sistema
1. Pregled hladilne tekočine: Hladilni sistem se uporablja za zmanjšanje toplote, ki jo proizvaja oprema med delovanjem. Hladilna tekočina je ključni medij hladilnega sistema. Redno preverjajte raven hladilne tekočine, da zagotovite, da je raven znotraj običajnega območja. Raven hladilne tekočine se bo med dolgotrajno uporabo padla zaradi izhlapevanja, puščanja itd. Prenizka raven bo vplivala na hladilni učinek. Hkrati preverite kakovost hladilne tekočine in opazujte, ali je hladilna tekočina razbarvana, moten ali ima vonj. Če se hladilna tekočina poslabša, jo je treba pravočasno zamenjati. Na splošno je priporočljivo nadomestiti hladilno tekočino vsakih 1-2 let. Specifični nadomestni cikel je mogoče določiti v skladu z uporabo opreme in priporočil proizvajalca.
2. Vzdrževanje hladilnih cevi: preverite, ali je hladilna cev blokirana. Notranjost hladilne cevi je lahko blokirana zaradi kopičenja lestvice, nečistoč itd., Ki vpliva na normalen pretok hladilne tekočine. Cev lahko očistite s kemičnim čiščenjem ali fizičnim čiščenjem. Kemično čiščenje lahko uporablja posebno čistilno sredstvo, vendar bodite pozorni na koncentracijo čistilnega sredstva in čas čiščenja, da se izognete koroziji cevi. Fizično čiščenje lahko izvedemo z visokotlačnim izpiranjem vodne pištole in drugimi metodami. Poleg tega preverite tesnjenje hladilne cevi, da preprečite puščanje hladilne tekočine. Če v cevi najdemo puščanje, je treba poškodovane dele cevi pravočasno popraviti ali zamenjati.
3. Pregled hladilne opreme: preverite vodno črpalko, radiator in drugo opremo v hladilnem sistemu. Prepričajte se, da vodna črpalka deluje normalno. Vodnik vodne črpalke lahko zaradi obrabe vpliva na črpalno zmogljivost. Če se ugotovi, da vodna črpalka črpa nenormalno, je treba vodno črpalko popraviti ali zamenjati pravočasno. Preverite, ali so plavuti hladilnika radiatorja blokirane, očistite prah in naplavine na plavuti za hlajenje hladilnika in zagotovite, da lahko radiator učinkovito razprši toploto. Hkrati preverite delovanje hladilnega ventilatorja in tako zagotovite, da lahko ventilator normalno zagotovi hladilni zrak za radiator.
Čiščenje opreme in vzdrževanje okolja
1. Čiščenje površine opreme: Redno čistite površino magnetronske opreme za brizganje, da odstranite prah, olje in druga onesnaževala. S čisto mehko krpo lahko potopite v ustrezno količino detergenta in nežno obrišite površino opreme. Za nekaj trdovratnih madežev lahko uporabite posebno čistilo za opremo, vendar pazite, da se ne bi detergent izognili vstopu v notranjost opreme. Po čiščenju obrišite površino opreme s čisto krpo, da bo videz opreme čist.
2. Čisto delovno okolje: Delovno okolje opreme pomembno vpliva tudi na njegovo uspešnost in življenje. Naj bo delovno okolje čisto, redno očistite prah na tleh in se izogibajte preveč prahu, da bi vstopil v opremo. Nadzirajte temperaturo in vlažnost delovnega okolja. Na splošno je oprema za brizganje magnetrona primerna za delo v okolju s temperaturo 20-25 in relativno vlažnostjo 40%-60%. Za prilagoditev temperature in vlažnosti okolice je mogoče namestiti opremo za klimatsko napravo in dehumidifikacijo. Poleg tega zagotovite, da je delovno okolje dobro prezračeno, da se prepreči kopičenje toplotnega in izpušnega plina, ki nastane med delovanjem opreme.
Skratka, vsakodnevno vzdrževanje opreme za brizganje magnetrona zajema več vidikov, kot so vakuumski sistem, tarča za brizganje, električni sistem, hladilni sistem, čiščenje opreme in vzdrževanje okolja. Operaterji bi morali strogo slediti priročniku za vzdrževanje proizvajalca opreme za redno vzdrževanje, takoj odkriti in rešiti morebitne težave, da bi zagotovili stabilno delovanje opreme, izboljšali življenjsko dobo opreme in s tem izboljšali kakovost in proizvodno učinkovitost razpršenega filma.
