Stroj za nanašanje premazov z magnetronskim brizganjem

Znotraj vakuumske komore se uporablja magnetno polje za omejitev žareče razelektritve, kar povzroči, da ioni argona bombardirajo ciljni material pri visokih hitrostih, ciljni atomi se razpršijo in odložijo na površino obdelovanca, da tvorijo gosto tanko plast-. Postopek je razvrščen kot fizično naparjevanje (PVD).

Lastnosti opreme

Združljiv z različnimi vrstami razpršilnih tarč
Podpira tarče za magnetronsko razprševanje z enosmernim, MF in RF, prilagaja tako kovinske kot oksidne keramične tarče, kar omogoča nanašanje kovinskih in izolacijskih dielektričnih filmov.

Revolucija substrata in rotacijski mehanizem
Stojalo za obdelovance uporablja planetarni rotacijski sistem, ki omogoča, da se obdelovanci v peči istočasno vrtijo in vrtijo, kar zagotavlja odlično enakomernost debeline filma po celotni obremenitvi peči in zmanjšuje barvne razlike.

Nizko{0}}sistem za-predobdelavo z ioni
Sistem, opremljen z vgrajenim-virom ionskega čiščenja, obstreljuje površino obdelovanca s plazmo pred nanosom, da odstrani oljne onesnaževalce in oksidne plasti. Omogoča nanašanje filma pri nizki-temperaturi z minimalnim segrevanjem podlage, zaradi česar je primeren za obdelavo toplotno{3}}občutljive plastike, kot sta ABS in PC, ne da bi povzročil vžig ali deformacijo.

Neodvisna konfiguracija vakuumske enote
Kombinacija turbomolekularne črpalke, Rootsove črpalke in rotacijske lopatne črpalke, ki zagotavlja stabilno črpalno krivuljo.

Popolnoma avtomatski PLC industrijski nadzorni sistem
Avtomatizacija procesa, procesne recepte je mogoče shraniti in priklicati z enim klikom.

Natančna kontrola pretoka plina
Uporablja več krmilnikov masnega pretoka (MFC) za natančno regulacijo reaktivnih plinov, kot so argon, kisik in dušik, zaradi česar je primeren za reaktivno nanašanje z brizganjem oksidnih in nitridnih kompozitnih filmov.

Varnostna zaščita
Vključuje zapore za vrata komore in vakuumski sistem, kot tudi zaščito pred preobremenitvijo, pomanjkanjem vode in izpadom električne energije, samodejni izklop ob zaznavi nepravilnosti za zaščito ciljnega vira in vakuumskega sistema.

Dekorativni premaz
Etuiji za ure, kopalniška oprema, glave palic za golf, ročna dela, igrače, reflektorji za avtomobilske žaromete ter ohišja in gumbi za mobilne telefone ali gospodinjske aparate. Zmožnost izdelave imitacije zlata, črne bronaste kovine, ultra-črne in barvnih okrasnih premazov, služi kot okolju-prijazna,-brez onesnaževanja alternativa tradicionalni-vodni galvanizaciji.

Združljive podlage: ABS plastika, steklo, keramika, ploščice in različne kovine.

 

Funkcionalni filmi
Kalup in orodje: obrabno{0}}odporni zaščitni premazi za rezalna orodja in kalupe/matrice

Debelina filma je nadzorovana in ponovljiva.

Zanesljivo lahko nanese film vnaprej določene debeline, nanos z brizganjem pa lahko doseže enakomerno debelino filma na veliki površini.

Film ima močan oprijem na podlago.

Nekateri visoko{0}}energijski razpršeni atomi povzročijo različne stopnje vbrizgavanja in tvorijo psevdo-difuzijsko plast na substratu, kjer se razpršeni atomi in substratni atomi spajajo med seboj.

Priprava tankih filmov iz posebnih materialov.

Mešani filmi in sestavljeni filmi se lahko pripravijo s hkratnim naprševanjem različnih materialov. TiN imitacije zlata lahko tudi napršimo.

Film ima visoko čistost in napršeni film se ne bo mešal s komponentami materiala grelnika lončka.

Opremljen je s pomožnim-virom ionov pri nizkih temperaturah in lahko oblikuje filme s hladnim nanašanjem pri sobni temperaturi brez ogrevanja, prihrani energijo in elektriko ter izboljša proizvodno zmogljivost.