Načelo delovanja
Stroj za vakuumsko nanašanje magnetronskega razprševanja je široko uporabljena tehnologija fizičnega naparjevanja (PVD). Njegovo jedro je uporaba magnetnega polja za omejitev gibanja elektronov, kar znatno izboljša učinkovitost razprševanja in kakovost filma.
Njegova glavna značilnost je uporaba magnetnih polj za omejevanje tirnice gibanja elektronov, kar znatno izboljša učinkovitost razprševanja in hitrost nanašanja.
Lastnosti opreme
Neodvisen vakuumski-sistem z eno komoro
Vsebuje po meri-izdelano komoro iz nerjavečega jekla s poliranimi zvari in odličnim splošnim nadzorom stopnje puščanja, dimenzije komore pa je mogoče prilagoditi specifikacijam po meri.
Modul za-predobdelavo ionskega vira
Uporablja plazemsko ionsko čiščenje za bombardiranje in aktiviranje površine obdelovanca pred nanosom premaza, kar bistveno poveča oprijem filma. Ima neobvezen nizko{1}}temperaturni ionski postopek, ki omogoča obdelavo toplotno{2}}občutljivih podlag-kot so plastika in akril-brez povzročanja deformacije obdelovanca.
Popolnoma avtomatiziran nadzorni sistem človek{0}}stroj
Ima samostojno električno krmilno omarico in upravljanje z zaslonom na dotik, celoten postopek teče samodejno, z možnostjo shranjevanja več receptov za premazovanje.
V-komorni planetarni gramofon
Vpenjala obdelovanca krožijo z vrtljivo ploščo, kar zagotavlja enakomerno debelino filma in dosledno kakovost premaza, vpenjala so zamenljiva za različne izdelke.
Aplikacije
Dekorativni premazi
Kopalniška oprema, okvirji za očala, etuiji za ure, okvirji za-mobilne telefone, svetila, ročna dela, glave palic za golf itd.; zaključki vključujejo titanium gold, bronmetal black, krom in barvne okrasne premaze.
Funkcionalni premazi
Pro-odbojni/odsevni premazi za steklo, keramični premazi, obrabno{1}}odporni premazi plesni, EMI zaščitni premazi, senzorski tanki filmi.
Primerne podlage
Nerjaveče jeklo, baker in aluminij, steklo, keramika, ABS/PC plastika itd.




















Magnetno polje omejuje elektrone
Visoka stopnja ionizacije, hitra stopnja nanašanja, visoka proizvodna učinkovitost
Visoka stopnja razprševanja
Nizkotemperaturno nanašanje
Visoka kakovost filma:
Močan oprijem, kompaktnost, dobro nadzorovanje sestave, dobra enakomernost
Stroj za vakuumsko nanašanje magnetronskega razprševanja dosega visoko stopnjo ionizacije, visoko hitrost razprševanja in nanašanje pri nizkih temperaturah zaradi svoje glavne značilnosti magnetnega polja, ki omejuje elektrone.
To prinaša pomembne prednosti, kot so visoka učinkovitost nanašanja, širok razpon uporabe substratov (zlasti substratov s slabo toplotno odpornostjo), odlična kakovost filma (močan oprijem, gostota, nadzorovana sestava, dobra enakomernost) in velika prilagodljivost postopka.
Zaradi teh prednosti je ena izmed prednostnih ali običajnih tehnologij PVD na številnih področjih, kot so optični premazi, mikroelektronika/polprevodniki, sončne celice, ploski zasloni, trdi premazi za orodja, dekorativni premazi, premazi,-odporni na obrabo in korozijo-in funkcionalni filmi.
Specifikacija:
|
Stroj za vakuumsko nanašanje magnetronskega brizganja |
|||||||
|
Model |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
Velikost komore |
Φ600×800MM |
Φ800×1000MM |
Φ1000×1200MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1500×1500MM |
Φ1600×1800MM |
|
Vakuumska enota |
Difuzijska črpalka KT400 |
Difuzijska črpalka KT500 |
Difuzijska črpalka KT800 |
KT630 Difuzijska črpalka |
Dvojna difuzijska črpalka KT630 |
Dvojna difuzijska črpalka KT630 |
Dvojna difuzijska črpalka KT630 |
|
Sistem premazov |
DC ali srednjefrekvenčno napajanje, posebno napajanje s pomožnimi ioni za premaz |
||||||
|
Sistem inflacije |
Merilnik masnega pretoka |
||||||
|
Metoda nadzora |
Ročno ali popolnoma avtomatsko |
||||||
|
Končni vakuum |
5X10-3Pa |
||||||
|
Opomba |
Zgornji parametri opreme so samo za referenco in so zasnovani in prilagojeni glede na dejanske procesne zahteve strank. |
||||||
Priljubljena oznake: stroj za vakuumsko nanašanje magnetronskega razprševanja, Kitajska proizvajalci, dobavitelji, tovarna stroja za vakuumsko nanašanje magnetronskega razprševanja
