Najprej moramo pojasniti, da kontaminacija vakuumske komore v bistvu vključuje različne nečistoče (vodna para, ogljikovodiki, prah, maščobe itd.), ki se oprimejo sten komore ali površin notranjih komponent in tvorijo vire plinov in hlapov, ki porušijo ravnovesje vakuumskega okolja. Ti onesnaževalci prihajajo iz številnih virov, vključno z ostanki rezalne tekočine in maziva pri obdelavi obdelovanca, znoja rok med delovanjem, prahu v zraku in celo sledi nečistoč, ki jih vnese vakuumska črpalka ali hlapljive snovi iz ciljnega materiala ali podlage. Ne glede na vrsto kontaminacije je glavna strategija predelave "natančno odstranjevanje nečistoč brez poškodb materiala komore in ponovna vzpostavitev vakuumskega okolja." Različne vrste kontaminacije zahtevajo različne metode predelave.
Metoda 1: Segrevanje za "izhlapevanje" nečistoč - Metoda čiščenja z vakuumskim segrevanjem To je najbolj osnovna in pogosto uporabljena metoda restavriranja. Princip je zelo preprost: tako kot pri sušenju oblačil z vodnimi madeži, segrevanje povzroči, da hlapne nečistoče (kot so vodna para in blagi ogljikovodiki) na površini votline izhlapijo, nato pa jih vakuumska črpalka odstrani in tako doseže čiščenje.
Metoda 2: Ultravijolična "razgradnja" kontaminantov - Metoda čiščenja z ultravijoličnim obsevanjem. Če je kontaminacija votline v glavnem sestavljena iz ogljikovodikov (kot so ostanki mazalnega olja in organskih onesnaževal), bo metoda čiščenja z ultravijoličnim obsevanjem učinkovitejša. Poleg tega je brez{4}}kontaktnega in ne-škodljivega v celotnem procesu, zaradi česar je posebej primeren za scenarije z izjemno visokimi materialnimi zahtevami, kot so natančne optične votline in polprevodniške vakuumske votline.
Metoda 3: Dekontaminacija z ionskim "bombardiranjem" - Metoda čiščenja z odvajanjem. Pri votlinah z visokim vakuumom in ultra-visokim vakuumom (kot so oprema za vakuumsko nanašanje in votline za implantacijo polprevodniških ionov) je kontaminacija pogosto bolj trdovratna, zlasti ogljik in ogljikovodiki na površini votlin iz nerjavečega jekla, ki jih je težko odstraniti z običajnimi metodami. V tem primeru je potrebna metoda praznjenja, ki je tudi temeljna metoda za globinsko sanacijo vakuumskih votlin.
4. način: "izpiranje" s plinom stran od nečistoč - Metoda splakovanja s plinom Če je votlina le malo onesnažena ali če sta potrebna hitra obnovitev in skrajšanje časa evakuacije, je izpiranje s plinom najboljša izbira. Razdeljeno je na izpiranje z dušikom in izpiranje z reaktivnim plinom, ki sta primerna za različne scenarije.
Poudarek je treba dati -zaščiti pred kontaminacijo: po obnovi je treba kavitet zaščititi pred oljem in prahom. Med delovanjem je treba izvajati zaščitne ukrepe in vakuumsko črpalko redno vzdrževati, da se zmanjša možnost ponovne kontaminacije. To je še posebej pomembno na področjih z izjemno visokimi zahtevami glede čistoče, kot so polprevodniki in vesoljska industrija, kjer čistoča votlin neposredno določa življenjsko dobo in zmogljivost izdelka. Čistoča vakuumske votline je "rešilna vrv" visokokakovostnih-vakuumskih postopkov. Z obvladovanjem teh štirih osnovnih metod restavriranja in prožnim izbiranjem ustrezne metode glede na stopnjo kontaminacije in material kavitete je mogoče težave s kontaminacijo kavitete zlahka rešiti, kar zagotavlja stabilno delovanje vakuumskega sistema. Z razvojem precizne proizvodne industrije se nenehno nadgrajuje tudi tehnologija vakuumskega čiščenja, od tradicionalnega ogrevalnega čiščenja do okolju prijaznega in učinkovitega razelektritvenega in plazemskega čiščenja. Vse več metod varuje čistočo vakuumskih votlin in ščiti vrhunsko-proizvodnjo.
Dobrodošli, obiščite naš Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine za več strojnih videov, hvala.
