Stroj za vakuumsko nanašanjev glavnem se nanaša na vrsto prevleke, ki jo je treba izvesti pod relativno visoko stopnjo vakuuma, vključno s številnimi vrstami, vključno z vakuumskim ionskim izhlapevanjem, magnetronskim razprševanjem, epitaksijo z molekularnim žarkom MBE, nanašanjem z laserskim naprševanjem PLD itd. Glavna ideja je, da ga razdelimo na dve vrsti: izhlapevanje in razprševanje.
Pri gradientnem barvnem postopku se na splošno uporablja oprema za nanašanje premazov z magnetronskim naprševanjem. Trenutno gradientna barvna ohišja številnih modelov mobilnih telefonov, kot sta Huawei in Lenovo, uporabljajo postopek vakuumskega gradientnega premaza PVD.
Magnetronsko razprševanje je vrsta fizičnega naparjevanja (Physical Vapor Deposition, PVD). Splošna metoda razprševanja se lahko uporablja za pripravo kovin, polprevodnikov, izolatorjev in drugih materialov in ima prednosti enostavne opreme, enostavnega nadzora, velike površine prevleke in močnega oprijema.
Metoda magnetronskega razprševanja, razvita v sedemdesetih letih prejšnjega stoletja, je dosegla visoko hitrost, nizko temperaturo in majhne poškodbe. Ker se -hitro razprševanje izvaja pod nizkim tlakom, je treba stopnjo ionizacije plina učinkovito povečati. Magnetronsko razprševanje uvaja magnetno polje na površino ciljne katode in uporablja magnetno polje za omejitev nabitih delcev za povečanje gostote plazme in tako poveča hitrost razprševanja.
Stroj za vakuumsko nanašanje magnetronskega brizganja je najpogosteje uporabljena oprema za premazovanje obstoječih izdelkov v vakuumskih pogojih. Celoten stroj za vakuumsko nanašanje magnetronskega naprševanja je sestavljen iz več delov sistema. Vsak sistem lahko opravi različne funkcije za doseganje končnega visoko{2}}kakovostnega premaza. Sestavni deli prevleke z magnetronskim brizganjem vključujejo vakuumsko komoro, mehansko črpalko, vakuumski testni sistem, oljno difuzijsko črpalko, vakuumski sistem, kondenzacijsko črpalko, sistem za nadzor nastajanja filma itd.
Glavno telo stroja za vakuumsko nanašanje z magnetronskim brizganjem je vakuumska komora. Velikost vakuumske komore določajo predelani izdelki. Velikost prevleke za magnetronsko brizganje je mogoče prilagoditi. Komora je na splošno izdelana iz nerjavečega jekla in mora biti močna, vzdržljiva ter ne-rjaveča. Vakuumska komora za magnetronsko naprševanje ima veliko povezovalnih ventilov za priključitev različnih pomožnih črpalk.
Sistem za nadzor nastajanja filma z magnetronskim naprševanjem lahko sprejme različne metode, kot so fiksni čas nanašanja, vizualni pregled, ekstremno spremljanje in spremljanje kristalnih vibracij. Stroji za vakuumsko nanašanje in metode premazovanja stroja za vakuumsko nanašanje so prav tako razdeljeni na različne postopke. Pogosto uporabljeni vključujejo premaz z ionskim izhlapevanjem in premaz z magnetronskim razprševanjem. Filmska plast, prevlečena z magnetronskim naprševanjem, ima močan oprijem in visoko čistost ter lahko hkrati razprši različne materiale z različnimi sestavami.
