Učinkovitost tesnjenja je ključni vidik načrtovanja opreme za vakuumsko nanašanje, saj njena kakovost neposredno vpliva na to, ali je mogoče doseči raven vakuuma, potrebno za premaz, med poznejšim postopkom vakuumiranja. Če ta zahteva ni izpolnjena, bo to neposredno vplivalo na nastanek in kakovost filma. Da bi zagotovili dobro tesnjenje opreme ali sistemov za vakuumsko nanašanje, še zdaleč ni dovolj, da preprosto poiščete in blokirate puščanje po namestitvi. Vakuumsko odkrivanje puščanja je potrebno izvajati na vseh stopnjah načrtovanja, izdelave, zagona in uporabe opreme ali sistema za vakuumsko nanašanje.
Premisleki glede oblikovanja zaStroj za vakuumsko nanašanje
1. Določite skupno največjo dovoljeno stopnjo puščanja vakuumske opreme na podlagi zahtev procesa in nato določite največjo dovoljeno stopnjo puščanja vsake komponente na podlagi te skupne stopnje puščanja.
2. Na podlagi največje dovoljene stopnje puščanja in drugih indikatorjev opreme predhodno določite metode odkrivanja puščanja, ki se bodo uporabljale v fazi načrtovanja, in to uporabite kot eno od osnovnih načel, ki vodijo pri zagonu in prevzemu.
3. Na podlagi kazalnikov največje dovoljene stopnje puščanja opreme ali komponent določite načine tesnjenja in povezovanja ter splošno natančnost obdelave opreme, pa tudi, kateri tip dinamičnega tesnjenja lahko izpolni zahteve. Na primer, ali uporabiti kovinska tesnila ali gumijasta tesnila za prirobnice.
4. Pri načrtovanju strukturne trdnosti posode upoštevajte odpornost proti tlaku in strukturno trdnost, zahtevano za testirano komponento, če se uporablja metoda za odkrivanje puščanja pod pritiskom.
5. Pri izbiri strukturnih materialov za komponente upoštevajte, ali so uporabljeni materiali, ki bi jih delovni medij in-plin za testiranje tesnosti lahko korodirali in poškodovali.
6. Med strukturnim načrtovanjem je treba na vsebniku ali sistemu zagotoviti potrebne rezervne vmesnike za instrumente za odkrivanje puščanja za uporabo med sestavljanjem opreme in zagonom. Zlasti za velike in zapletene cevne sisteme so pogosto potrebne metode segmentiranega odkrivanja puščanja; zato je treba na cevovod namestiti segmentirane izolacijske ventile, vmesnike instrumentov za odkrivanje puščanja pa rezervirati za vsak izolacijski segment.
7. Pri načrtovanju strukturnih komponent se izogibajte projektnim shemam, ki bi lahko motile odkrivanje puščanja. Na primer, slepe luknje se ne smejo uporabljati za luknje za vijake v vakuumski komori, ker lahko po namestitvi vijaka plin v preostalem prostoru znotraj luknje za vijak uhaja le skozi režo navoja in povzroči lažno puščanje. To podaljša čas evakuacije sistema in moti normalno odkrivanje puščanja. Glejte diagram za strukture, ki se ne bi smele pojaviti pri vakuumskem odkrivanju puščanja.
8. Podobno neprekinjeni dvo-stranski zvari in več-slojne strukture tesnilnih obročev niso dovoljeni v konstrukcijski zasnovi, saj bodo ustvarili "parazitski volumen" na sredini, kar bo povzročilo uhajanje plina v notranjosti. Poleg tega, ko notranji in zunanji zvari ali tesnilni obroči puščajo hkrati, "parazitski volumen" povzroči predolg odzivni čas za prehod uhajajočega plina skozi dvo-slojni zvar, zaradi česar je običajno odkrivanje puščanja nemogoče.
9. Pri načrtovanju varjenih konstrukcij čim bolj zmanjšajte število zvarov, pri katerih ni mogoče zaznati puščanja po končni montaži.
Zgornje točke so varnostni ukrepi za odkrivanje puščanja v opremi za vakuumsko nanašanje. Kakovost izvedbe tesnjenja neposredno določa, ali je oprema lahko uspešno sprejeta in ali njena kakovost ustreza standardom.
