Veliko strank je pri nakupu zmedenihstroji za vakuumsko premazovanje. Vedo, katero vrsto in model stroja za premazovanje potrebujejo, vendar ne morejo določiti, katere standarde mora izpolnjevati stroj, da se šteje za kakovostnega in visoke-kakovosti. Ta zmeda jih pripelje do številnih ovinkov. Spodaj bo Puyuan Vacuum zagotovil podroben uvod v osnovne tehnične zahteve, ki jih mora izpolnjevati stroj za vakuumsko nanašanje.
Vakuumsko izparevanje, katodna ionizacija, magnetronsko razprševanje:
1.Struktura vakuumskih cevovodov in statičnih tesnilnih komponent v opremi mora biti v skladu z GB/T6070.
2.Na cevovodih za nizek-vakuum in visok-vakuum ter na komoro za vakuumsko prevleko je treba namestiti merilnike vakuuma za merjenje ravni vakuuma na vsaki lokaciji. Če se zaznajo motnje zaradi električnega polja, je treba na merilni priključek namestiti napravo za zaščito električnega polja.
3.Če je glavna črpalka, ki se uporablja v opremi za nanašanje PVD premazov, difuzijska črpalka, je treba na vstopni strani črpalke namestiti lovilec oljnih hlapov.
4. Komora za premazovanje opreme za vakuumsko nanašanje mora biti opremljena z opazovalnim oknom in odbojno napravo. Okno za opazovanje mora omogočati opazovanje delovnega statusa vira usedanja in drugih kritičnih komponent.
5. Zasnova vira nanašanja z ionsko prevleko mora povečati stopnjo ionizacije med postopkom nanašanja, izboljšati stopnjo izkoriščenosti materiala prevleke, racionalno ujemati moč vira nanašanja in racionalno urediti položaj vira nanašanja v vakuumski komori.
6.Kurilna naprava naj bo racionalno razporejena; na splošno mora postavitev strukture grelnika zagotavljati enakomeren dvig temperature obdelovanca, ki ga prekrivamo.
7. Nosilec obdelovanca mora biti izoliran od vakuumske komore, zasnova držala obdelovanca pa mora zagotavljati enakomerno plast filma obdelovanca.
8. Stroji za ionsko vakuumsko nanašanje morajo na splošno imeti negativno prednapetost obdelovanca in napajanje z ionskim obstreljevanjem. Napajalnik z ionskim obstreljevanjem mora imeti napravo za zatiranje nenormalne razelektritve in vzdrževanje stabilnega delovanja.
9.Vrednosti izolacijskega upora med različnimi deli vakuumske komore, povezanimi z različnimi potenciali, morajo ustrezati 4.4.6 GB/T11164-1999.
10. Drugi previdnostni ukrepi
(1) Temperatura okolja: 10-30 stopinj
(2) Relativna vlažnost: ne več kot 75%
(3) Vhodna temperatura hladilne vode: ne višja od 25 stopinj
(4) Kakovost hladilne vode: komunalna voda iz pipe ali voda enakovredne kakovosti.
(5) Napajanje: 380 V tri-fazno 50Hz ali 220V eno-fazno 50Hz (odvisno od uporabljenih električnih naprav); območje nihanja napetosti: 342-399V ali 198-231V; območje nihanja frekvence: 49-51Hz.
(6) Tlak, temperatura in poraba stisnjenega zraka, tekočega dušika, hladne vode, tople vode itd., ki jih zahteva oprema, morajo biti navedeni v priročniku z navodili za izdelek.
(7) Okolje opreme mora biti čisto in v zraku ne sme biti prahu ali plinov, ki bi lahko povzročili korozijo električnih komponent ali drugih kovinskih delov ali prevodnost med kovinami.
