Čeprav obstaja veliko vrst ionskih virov, je njihov namen v bistvu enak: spletno čiščenje, izboljšanje porazdelitve energije na prevlečeni površini in modulacija energije reaktanta. Ionski viri lahko bistveno izboljšajo trdnost vezi med filmom in substratom, hkrati pa izboljšajo trdoto filma ter odpornost proti obrabi in koroziji. Za plasti,-odporne na obrabo orodij, ki so na splošno debelejše in ne zahtevajo visoke enakomernosti debeline filma, je mogoče uporabiti ionske vire z višjim ionskim tokom in ravnmi energije, kot so Hallovi ionski viri ali anolitni ionski viri.
Anodni ionski viri delujejo po principu, podobnem Hallovim ionskim virom. Znotraj ozke obročaste (pravokotne ali okrogle) reže deluje močno magnetno polje, ki pod vplivom anode ionizira delovni plin in ga usmeri proti obdelovancu. Anodni ionski viri so lahko zelo veliki in dolgi, zaradi česar so posebej primerni za premazovanje velikih obdelovancev, kot je arhitekturno steklo. Ponujajo tudi relativno velik ionski tok. Vendar je njihov ionski tok bolj razpršen, porazdelitev ravni energije pa preširoka. Na splošno so primerni za velike obdelovance, steklo, abrazivne površine in dekorativne komponente. Vendar njihova uporaba v naprednih optičnih prevlekah ni razširjena.
Čeprav obstaja veliko vrst ionskih virov, je njihov namen v bistvu enak: spletno čiščenje, izboljšanje porazdelitve energije na prevlečeni površini in modulacija energije reaktanta. Ionski viri lahko bistveno izboljšajo trdnost vezi med filmom in substratom, hkrati pa izboljšajo trdoto filma ter odpornost proti obrabi in koroziji. Za plasti,-odporne na obrabo orodij, ki so na splošno debelejše in ne zahtevajo visoke enakomernosti debeline filma, je mogoče uporabiti ionske vire z višjim ionskim tokom in ravnmi energije, kot so Hallovi ionski viri ali anolitni ionski viri.
Anodni ionski viri delujejo po principu, podobnem Hallovim ionskim virom. Znotraj ozke obročaste (pravokotne ali okrogle) reže deluje močno magnetno polje, ki pod vplivom anode ionizira delovni plin in ga usmeri proti obdelovancu. Anodni ionski viri so lahko zelo veliki in dolgi, zaradi česar so posebej primerni za premazovanje velikih obdelovancev, kot je arhitekturno steklo. Ponujajo tudi relativno velik ionski tok. Vendar je njihov ionski tok bolj razpršen, porazdelitev ravni energije pa preširoka. Na splošno so primerni za velike obdelovance, steklo, abrazivne površine in dekorativne komponente. Vendar njihova uporaba v naprednih optičnih prevlekah ni razširjena.
Hallov vir ionov v astroj za vakuumsko premazovanjeionizira procesni plin s pomočjo močnega aksialnega magnetnega polja. Močno neravnovesje tega aksialnega magnetnega polja loči plinske ione in tvori ionski žarek. Zaradi jakosti aksialnega magnetnega polja ionski žarek ionskega vira Hall potrebuje dodatne elektrone za nevtralizacijo ionskega toka. Pogost vir nevtralizacije je volframova žarilna nitka (katoda).
