V strojih za vakuumsko nanašanje z magnetronskim razprševanjem se material, ki ga je treba premazati, imenuje substrat, material, ki se premazuje, pa se imenuje tarča. Tako podlaga kot tarča sta v vakuumski komori. Prevleka z izhlapevanjem običajno vključuje segrevanje tarče, da izpari površinske komponente v obliki atomskih grozdov ali ionov. Te izparele komponente se nato odložijo na površino substrata in tvorijo tanek film skozi-postopek oblikovanja filma (razpršena-otočna struktura-tavajoča struktura-rast plasti).
Za napršene premaze lahko preprosto razumemo kot uporabo elektronov ali visoko{0}}energijskih laserjev za bombardiranje tarče, razprševanje površinskih komponent v atomske grozde ali ione, ki se nato odložijo na površino substrata, pri čemer so podvrženi procesu-tvorbe filma, da na koncu nastane tanek film.
Delovni postopki: Delovanje nadzorne omare
1. Vklopite vodno črpalko in dovod zraka.
2. Vklopite glavno napajanje.
3. Vklopite napajanje zadrževalne črpalke in vakuumskega merilnika. Nastavite merilnik vakuuma na položaj V1 in počakajte, da je vrednost nižja od 10, preden nadaljujete z naslednjim korakom. To traja približno 5 minut.
4. Vklopite mehansko črpalko za pred-evakuacijo. Vklopite turbomolekularno črpalko in jo zaženite. Preklopite stikalo merilnika vakuuma na V2 in izpraznite, dokler vrednost ni manjša od 2. To traja približno 20 minut.
5. Ko odčitek turbomolekularne črpalke doseže 250, izklopite pred-evakuacijo. Za nadaljevanje praznjenja vklopite predčrpalko in visokovakuumski ventil. Šele ko dosežete določeno stopnjo vakuuma, lahko vklopite merilnik visokega vakuuma na desni strani in opazujete stopnjo vakuuma. Napajanje elektronskega topa se lahko vklopi šele, ko vakuum doseže 2 × 10⁻³.
Delovanje DEF-6B:
1. Glavna moč.
2. Istočasno vklopite Electron Gun Control I in Electron Gun Control II: Pritisnite stikalo za vklop in zakasnitev za Electron Gun Control I. Zasvetile bodo lučke zakasnitve, napajanja in zaščite. Po treh minutah se zakasnitvena in zaščitna lučka ugasneta. Če zadnja vrata niso pravilno zaprta ali rele za pretok vode ne deluje pravilno, bo zaščitna lučka ostala prižgana.
3. Vklopite visoko napetost. Visoka napetost bo dosegla več kot 10KV. Nastavite tok žarka na približno 200 mA. Mreža zaslona je 20V/100mA, tok žarilne nitke je 1,2A, odklonski tok pa niha med 1 in 1,7A.
