Uvod v stroj za vakuumsko prevleko

Podlaga, ki jo je treba prevleči, se imenuje podlaga, material, ki ga je treba prevleči, pa se imenuje cilj. Podlaga in cilj sta v isti vakuumski komori.
Izhlapevalni premaz na splošno segreva cilj, tako da površinske komponente izhlapijo v obliki atomskih skupin ali ionov. In se usede na površino podlage in tvori tanek film skozi postopek oblikovanja filma (razpršena točka-otoška struktura-vagalna rast strukturne rasti). Za brizganje prevleke ga je mogoče preprosto razumeti kot bombardiranje cilja z elektroni ali visokoenergijskimi laserji in razpršiti površinske komponente v obliki atomskih skupin ali ionov in končno odlaganje na površini substrata, ki je podvržen procesu oblikovanja filma in na koncu tvori tanek film.